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Allgemeine Test- und Messtechnik

productronica11_logo_rgbNanoFocus: 3D-Oberflächenmesstechnik zur Qualitätssicherung in der Elektronikfertigung

09. November 2011 - Die NanoFocus AG, Entwickler und Produzent von konfokalen 3D-Messystemen und Software zur Charakterisierung von technischen Oberflächen, präsentiert auf der Productronica nanometergenaue Inspektionslösungen zur optimalen Qualitäts- und Produktionskontrolle in der Elektronik- und Halbleiterindustrie.

Der Trend zur Miniaturisierung ist in der Elektronikindustrie eine große Herausforderung. Mit optischer Messtechnik der NanoFocus AG lassen sich schnell und zerstörungsfrei präzise 3D-Oberflächenkennwerte im Mikro- und Nanometerbereich ermitteln, die eine zuverlässige Aussage über die Qualität einer Oberfläche ermöglichen. Auf dem komplett neu gestalteten Messestand präsentiert NanoFocus Messgeräte aus den drei Produktlinien μsurf (hochauflösende 3D-Konfokalmikroskope), μscan (3D-Scanning-Profilometer) und μsprint (extrem schnelle und inlinefähige 3D-Konfokalsensoren).

Die konfokale Messtechnik der NanoFocus AG zeichnet sich durch hohe Genauigkeit, schnelle Messgeschwindigkeit und ein Maximum an Wiederholgenauigkeit aus. Darüber hinaus werden die Messproben bei dem berührungslosen Verfahren nicht zerstört. Der Einsatz von NanoFocus-Messtechnik verhilft Entwicklern und Herstellern der Elektronikbranche zur Reduzierung von Produktionskosten und Ausschuss sowie zu kürzeren Entwicklungszeiten.

Das mehrkanaligen Sensoren der μsprint-Serie, die weltweit schnellsten Konfokalsensoren, erzielen auf glänzenden wie auch stark absorbierenden und rauen Oberflächen in Halbleiter-, Elektronik-, und Solarindustrie hochpräzise Messergebnisse. Beginnend bei der Inspektion von Schweißnähten oder Laserschweißpunkten bis hin zur Vermessung von Präzisionsteilen sowie verschiedenartiger Waferbumps ist μsprint für eine Vielzahl von Applikationen einsetzbar. Die μsprint-Technologie verfügt über großes Potenzial mit den zu erwartenden Strukturverkleinerungen im Bereich der BGAs / PGAs.

Die μsurf-Technologie wurde in diesem Jahr mit dem Intersolar Award prämiert. Das μsurf solar 2.0 wurde für seine Schnelligkeit, Zuverlässigkeit und hohe Präzision ausgezeichnet, die eine optimale Qualitäts- und Prozesskontrolle in der Forschung und Produktion von Solarzellen ermöglichen. Von der Analyse strukturierter Oberflächen bis hin zur exakten Vermessung von Isolationskanälen und der DIN EN ISO konformen Bestimmung der Rauheit sind zahlreiche Messaufgaben mit der NanoFocus-Messtechnik realisierbar.

Die μscan-Profilometer sind die automatisierbare Kompaktlösung für schnelles und exaktes Erfassen von 3D-Oberflächenstrukturen durch Scannen mit optischen Sensoren. Mit μscan lassen sich die Geometrie von Mikrobauteilen in verschiedenen Stationen des Fertigungsprozesses vermessen. Die Messsysteme ermöglichen unter anderem die Analyse von Schichtdicken auf Substraten. Ebenso können Form, Welligkeit, Rauheit nach DIN EN ISO an feinbearbeiteten Metallteilen, Kunststoffen und Halbleitermaterialien analysiert werden.

www.nanofocus.de


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