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News - Bauteil-/Halbleiter-Test

Charakterisierung von Leistungshalbleitern auf Wafer-Ebene

25. April 2013 - Keithley Instruments hat seine Automated Characterization Suite (ACS) Software mit einer Unterstützung für die Charakterisierung von Leistungshalbleitern erweitert. Die ACS-Testumgebung wurde speziell für automatische Parameter-Testanwendungen auf Wafer-Ebene entwickelt, wie die automatische Charakterisierung, Zuverlässigkeitsanalyse und den Known-Good-Die-Test.

Das ACS V5.0 Update ermöglicht jetzt auch den Einsatz der System-SourceMeter-SMU-Instrumente Modell 2651A (hoher Strom) und Modell 2657A (hohe Spannung) von Keithley für automatische Tests von Leistungshalbleitern auf Wafer-Ebene, wie Power-MOSFETs, IGBTs, BJTs, Dioden etc.

Bibliotheken für Hochleistungsbauteile speziell für den Einsatz mit System-SourceMeter-SMU-Instrumenten der Modelle 2651A (bis 50 A oder 100 A bei zwei Geräten) und 2657A (bis 3.000 V). Diese unterstützen in Verbindung mit Low-Power-SourceMeter-SMU-Instrumenten der Serie 2600B oder dem Parameteranalyzer Modell 4200-SCS einen Test von Leistungsbauteilen mit mehreren Anschlüssen. Dies ermöglicht die schnelle und einfache Erstellung von Modulen und Sequenzen für den Test von Leistungshalbleitern wie Power-MOSFETs, IGBTs, BJTs, Dioden etc.

Unterstützung für Hardware-Scans, Erkennungs- und Konfigurationsmanagement der Hochleistungsmodelle 2651A und 2657A, so dass der Anwender diese Instrumente schnell mit einem PC verbinden, die Verbindung bestätigen und den Test beginnen kann.

 Unterstützung für SMU-Instrumente der Serie 2600 mit TSP-Link-Kommunikationsschnittstelle und On-Board Test Script Processor (TSP)-Technologie für eine Multiprozessor-Umgebung. Diese ermöglicht einen hohen, parallelen Durchsatz und beschleunigt und vereinfacht gleichzeitig die Testprojektentwicklung.

Musterprojekte beispielsweise für Hochspannungs-WLR-Tests (Wafer Level Reliability), die auf verschiedenen Low-Power-Zuverlässigkeitstests der bisherigen ACS-Versionen aufbauen. Dies ist ein idealer Ausgangspunkt für den Anwender, um neue Tests schnell zu erstellen oder zu modifizieren.

Unterstützung für die ±200V C-V-Möglichkeit der C-V-Power Package-Option des Modells 4200-CVU-PWR für den Parameteranalyzer Modell 4200-SCS. Dadurch stehen vielfältige I-U- und C-U-Messmöglichkeiten für die vollständige Charakterisierung von Halbleiter-Leistungsbauteilen zur Verfügung.

ACS Hintergrund

ACS kombiniert mehrere Instrumente in eine einheitliche Testumgebung, die im Hinblick auf eine hohe Flexibilität, Geschwindigkeit und Produktivität beim Test und der Analyse optimiert wurde. Das intuitive GUI vereinfacht die Konfiguration von Testinstrumenten, die Einstellung von Messparametern, die Durchführung von I-U-Messungen und die Darstellung der Ergebnisse. Der Anwender kann dadurch einen Testaufbau zur Charakterisierung von Bauteilen sehr viel schneller einrichten. ACS stellt außerdem alle für die Erstellung von Tests, zur Analyse von Daten und den Export der Ergebnisse benötigten Tools zur Verfügung, ohne dass die ACS-Umgebung verlassen werden muss. ACS eignet sich für einen Test mit halb- und vollautomatischen Probern. Keithley bietet zudem die ACS Basic Edition Software für die Charakterisierung von Halbleiter-Bauteilen mit manuellen Probern oder Testadaptern an.

Verfügbarkeit

ACS V5.0 ist für verschiedene Instrumenten- und Systemkonfigurationen von Keithley verfügbar.

www.keithley.com/



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