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Bauteil-/Halbleiter-Test

Parameter-Analysator für schnelle und einfache Charakterisierung

Keithley 4200A02. August 2016 - Tektronix hat mit dem Keithley 4200A-SCS einen anpassbaren und voll integrierten Parameter-Analysator vorgestellt. Das System ermöglicht einen schnellen Einblick in Halbleiter-Bauteile, Materialien und Prozesse und liefert eindeutige, genaue Ergebnisse. Dabei wird besonders für neue oder gelegentliche Anwender die Komplexität der Charakterisierung deutlich reduziert und die Testeinrichtung vereinfacht.

Das neue 4200A-SCS Instrument basiert auf dem erfolgreichen Parameter-Analysator Keithley 4200-SCS und zeichnet sich durch eine neue grafische Bedienoberfläche und eine Reihe von hilfreichen in das Gerät integrierten Tools zum Selbstlernen aus, wie beispielsweise Videos mit detaillierten Erklärungen. Das Ergebnis ist eine um bis zu 50 Prozent schnellere Testeinrichtung und eine deutlich einfachere und intuitivere Bedienung. Die Bedienfreundlichkeit ist besonders für Anwendungen aus den Bereichen der Halbleiter-Bauteil-Forschung, Bauteilausfall-Analyse oder Zuverlässigkeitstest entscheidend, wo die Instrumente oftmals von mehreren Anwendern gemeinsam genutzt werden.

"Die Parameter-Analyse ist für die Charakterisierung neuer Halbleiter-Bauteile und Materialien wichtig, aber auch zum Test der Zuverlässigkeit von Bauteilen, bevor diese kommerziell eingesetzt werden. Allerdings führen die Forscher diese Tests nur sporadisch durch, so dass sie selten zu Experten im Einsatz der Parameter-Testinstrumente werden", meint Mike Flaherty, General Manager Keithley Product Line bei Tektronix. "Deshalb haben wir uns bemüht, dass der 4200A-SCS sehr einfach zu bedienen und zu erlernen ist.“

Neues Schaltmodul

Um die Messungen in der Halbleiter-Forschung zu vereinfachen, stellt Tektronix das vierkanalige IV/CV-Schaltmodul Keithley 4200A-CVIV vor. Das Modul wird mit dem 4200A-SCS Grundgerät eingesetzt und erlaubt eine direkte Umschaltung zwischen SMU-Strom-Spannungs- (I-V) und Kapazität-Spannungs-Messungen (C-V). Der Anwender kann damit C-V-Messungen an jedem Bauteilanschluss durchführen, ohne Prober-Nadeln abheben oder Kabel umstecken zu müssen.

Durch ein neues hochauflösendes Breitbild-Display bietet der 4200A-SCS zudem mehr Platz auf dem Bildschirm für interaktive Tests und Experimente. Das Display und eine völlig neue grafische Benutzeroberfläche ermöglichen eine intuitive Bedienung aller gewohnten Funktionen. Die neue Bedienoberfläche umfasst auch Videos, welche die Kenntnisse und Erfahrungen der Anwendungsingenieure weltweit von Keithley zusammenfassen. Diese Videos verkürzen die Lernkurve der Anwender und unterstützen sie bei der Fehlersuche, wenn unerwartete Ergebnisse auftreten und vermitteln dadurch Sicherheit bei den ermittelten Messergebnissen.

Wie das Vorgängermodell ist das 4200A-SCS ein modularer, voll integrierter Parameter-Analysator, der eine elektrische Charakterisierung von Materialien, Halbleiter-Bauteilen und Prozessen ermöglicht. Der 4200A-SCS enthält SMUs (Source Measure Unit) für die I-V-Charakterisierung, ein Kapazitätsspannungsmodul für AC-Impedanz-Messungen und eine ultraschnelle Puls-Messeinheit für gepulste I-V-, Signal-Erfassungs- und transiente I-V-Messungen. Der 4200A-SCS liefert den Forschern und Ingenieuren damit die kritischen Parameter, die sie für die Material-Forschung, das Design, die Entwicklung oder Produktion von Halbleiter-Bauteilen benötigen.

Preis & Verfügbarkeit

Der Keithley 4200A-SCS Parameter-Analysator und das 4200A-CVIV Schaltmodul sind ab sofort verfügbar. Die Preise für den Analysator beginnen bei 30.890 €.

www.tek.com/



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