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SEMATECH und SÜSS MicroTec entwickeln gemeinsam neue Testlösungen

10. Dezember 2009 - SUSS MicroTec arbeitet ab sofort am SEMATECH-Programm für Frontend-Prozesse (FEP) mit. Als Mitglied der Arbeitsgemeinschaft wird SÜSS MicroTec gemeinsam mit den FEP-Experten von SEMATECH neue komplexe Prüf- und -Messlösungen für Halbleiter- und Zukunftstechnologien untersuchen.

Um Fortschritte bei konventionellen und neuen Halbleiterbauteilen zu erzielen, erforscht das FEP-Programm von SEMATECH innovative neue Materialien und Bauteilstrukturen. Die Zusammenarbeit zwischen SÜSS MicroTec und den Forschungsteams von SEMATECH FEP zielt auf die Entwicklung neuer Charakterisierungstechniken ab, um sowohl die CMOS-Skalierung als auch über CMOS hinausgehende Zukunftstechnologien zu unterstützen. Zusätzlich umfasst das gemeinsame Projekt auch die Forschung an Charakterisierungsmethoden für neuartige Speicher- und MEMS/NEMS-Technologien. SEMATECH verwendet dabei sowohl das Prüfsystem von SÜSS MicroTec als auch deren Steuerungssoftware bei der Charakterisierung neuer Bauteile, Prozesse und Designs.

"Wir freuen uns sehr darüber, Teil des SEMATECH FEP-Programms zu sein und mit weltweit führenden Technologen an der Entwicklung und Charakterisierung neuer Materialien und Tools für die kontinuierliche Optimierung der Halbleitertechnologien zu arbeiten.", sagte Frank P. Averdung, Geschäftsführer und CEO von SÜSS MicroTec. „Diese Kooperation bringt die Erfahrung von SÜSS MicroTec im Bereich Testlösungen für Prüfungs- und Charakterisierungsanwendungen mit der Kompetenz von SEMATECH bei der Entwicklung grundlegender Materialien und modernster Bauteiltechnologien zusammen."

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