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Aktuelle Test- und Messtechnik-News

Per-Pin Quellen-Messeinheit für parametrische Tests an ICs

13. November 2018 – Advantest hat seinen neuen V93000 SMU8 Parametertester vorgestellt, der den Chiphersteller exakte Messungen erlaubt, die bei der Prozess-Charakterisierung und -überwachung bei Prozesstechnologien von 28 nm bis 3 nm erforderlich sind. Dank der für parametrische AC-Tests konzipierten Per-Pin Quellen-Messeinheiten (engl. SMU) kann das System die Timing- und elektrischen Eigenschaften jedes Pin-Bauteils rasch messen und verifizieren. Dies ermöglicht eine kosteneffizientere Herstellung und schnellere Markteinführung neuer IC-Designs.

Das vielseitige V93000 SMU8 System unterstützt In-Line- oder End-of-Line-Tests in Produktentwicklungs- und Herstellungsumgebungen. In Laboren eingesetzt sorgt das System dank seiner Fähigkeit, sehr große Datenmengen verarbeiten zu können, für schnelle und kosteneffiziente Parallelprüfungen neuer Designs. Im produktivem Einsatz kann das System dank seiner Serienprüfungsfähigkeit gesamte Wafer in 30 Minuten oder weniger auswerten.

"Unsere neue Testlösung bietet parallelen Durchsatz zum Preis eines Serientesters", so Ben Morris, Marketing- und Applikationsmanager bei Advantest. "Das System eignet sich optimal dafür, den Anforderungen des schnell wachsenden Halbleitermarktes gerecht zu werden, indem es die Timing- und die elektrische Performance der heutigen Schwachstrom-, Mixed-Signal- und Memory-Prozesse von der Produktentwicklung bis zur Fertigung gewährleistet. Der parallel-fähige Tester SMU8 erzeugt große Mengen an Prozessdaten, sobald die Mikrochip-Fertigung dazu bereit ist."

Das platzsparende V93000 SMU8 System ist mit Advantests C-Class Testkopf ausgestattet. Es arbeitet im Spannungsbereich von +10 Volt und im Strombereich von +50 Milliampere pro Kanal. Das System mit Per-Pin Quellenmesseinheiten ist erhältlich in 24-Pin- bis hin zu 112-Pin-Konfigurationen. Jede SMU-Karte verfügt über acht Kanäle, die eine Spannungseinstellgenauigkeit von 500 Mikrovolt und eine Strommessgenauigkeit von 500 Femtoampere ermöglichen.

Durch Ausrüsten des V93000 SMU8 mit dem optionalen DC Scale AVI64 Universal-Analog-Pin-Modul kann die Spannungsfähigkeit des Systems auf -40 bis +80 Volt ausgeweitet werden. Dadurch kann ein noch breiteres Spektrum an IC-Memory-Prozessen abgedeckt werden. Der Per-Pin Arbitrary Waveform Generator (AWG) des Systems kann praktisch jede beliebige Wellenform generieren und dabei mehrere Impulsgeber gleichzeitig steuern, was für Floating-Gate-Prozesse besonders nützlich ist.

Mehrere strategische Partner von Advantest haben bereits V93000 SMU8 Einheiten in Ihren F&E-Abteilungen installiert. Der Einsatz des neuen Testers in der Serienherstellung ist ab dem ersten Quartal 2019 vorgesehen.

www.advantest.de/



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